LA-2500 输出束流功率10KW能量10MeVLA-4500 输出束流功率20KW能量10MeV
MD-2501输出脉冲功率13MW平均功率60KWMD-4501 输出脉冲功率13MW平均功率120KW
EG-50 阳极高压50KVEG-60阳极高压60KVEG-80阳极高压80KV
输入最大相电压36V/3P,50Hz±5%; 控制电源220VAC/50Hz; 最大输出电压约72V，最大工作电流18A
工作电源 220VAC /50Hz; 阳极耐压 40KVDC; 最大工作电压 28KVDC
DL2203束流偏转扫描电源，输出频率5-48HZ可调，输出峰值电流1-10A可调
DL-7000溅射离子泵控制器，电压7KV，最大输出功率300W
工作频率2856±30MHz连续可调，输出脉冲功率400W
